微型氣氛管式爐是一種專為小塊樣品在真空或可控氣氛下進(jìn)行高溫處理設(shè)計(jì)的緊湊型設(shè)備。
微型氣氛管式爐的典型應(yīng)用場(chǎng)景:
材料合成
納米材料、陶瓷粉末、金屬氧化物的燒結(jié)與熱處理。
碳材料(如石墨烯、碳納米管)的制備與表征。
催化劑研究
催化劑的活性測(cè)試與再生,研究其在特定氣氛下的反應(yīng)機(jī)理。
半導(dǎo)體工藝
晶圓熱處理(如擴(kuò)散、退火、氧化),調(diào)整半導(dǎo)體電學(xué)性能。
化學(xué)氣相沉積(CVD)實(shí)驗(yàn),沉積薄膜材料(如SiO?、Si?N?)。
新能源領(lǐng)域
鋰離子電池正極材料(如磷酸鐵鋰、鈷酸鋰)的合成與燒結(jié)。
燃料電池電解質(zhì)和電極材料的制備。
地質(zhì)與考古
模擬高溫高壓地質(zhì)過程,或?qū)脊艠悠愤M(jìn)行灰化分析。